ฉนวนเซรามิกแบบ 5 แกนสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และห้องสะอาด

ในโลกที่มีการแข่งขันสูงของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และสภาพแวดล้อมห้องสะอาด ส่วนประกอบทุกชิ้นจะต้องส่งมอบประสิทธิภาพที่ไร้ที่ติพีเอฟทีเรามีความเชี่ยวชาญด้านงานประดิษฐ์ฉนวนเซรามิกแบบ 5 แกนที่กำหนดความแม่นยำและความน่าเชื่อถือใหม่ ด้วยประสบการณ์มากกว่า 20 ปีด้วยความเชี่ยวชาญหลายปี โซลูชันของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้มั่นใจถึงเสถียรภาพทางความร้อน ฉนวนไฟฟ้า และการทำงานที่ปราศจากการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมที่มีความอ่อนไหวสูง

เหตุใดจึงควรเลือกฉนวนเซรามิกแบบ 5 แกนของเรา?

1.ความสามารถในการผลิตขั้นสูง

สถานที่ของเรามีอุปกรณ์พร้อมเครื่องกัด CNC 5 แกนที่ทันสมัยที่สุดทำให้สามารถขึ้นรูปเซรามิกขั้นสูง เช่น อะลูมินา (Al2O3) ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) และอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) ได้อย่างแม่นยำในระดับไมครอน ซึ่งแตกต่างจากวิธีการทั่วไป การตัดเฉือน 5 แกนช่วยให้สามารถขึ้นรูปด้วยรูปทรงที่ซับซ้อนได้ ซึ่งถือเป็นสิ่งสำคัญสำหรับส่วนประกอบต่างๆ เช่น พินยกเวเฟอร์ ชิ้นส่วนห้องเคลือบ และฉนวนที่ทนต่อพลาสมา

คุณสมบัติหลัก:

-ความแม่นยำ:ความคลาดเคลื่อน ±0.005 มม. เพื่อการรวมเข้ากับเครื่องมือพิมพ์หิน ASML หรือระบบแกะสลัก Lam Research ได้อย่างราบรื่น
-ความอเนกประสงค์ของวัสดุ:ปรับให้เหมาะสมสำหรับอะลูมินา 99.8% SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง และเซรามิกขั้นสูงอื่นๆ
-การตกแต่งพื้นผิว:Ra <0.2μm เพื่อลดการเกิดอนุภาคในห้องคลีนรูม ISO คลาส 1

2.วิศวกรรมกระบวนการที่เป็นกรรมสิทธิ์

วิศวกรของเราได้พัฒนาการควบคุมกระบวนการแบบวงปิดที่ปรับให้เข้ากับความเปราะบางของเซรามิกระหว่างการกลึง โดยการผสมผสานเทคนิคการกลึงแห้งเข้ากับการลดการสั่นสะเทือนแบบเรียลไทม์ เราจึงได้พื้นผิวที่ปราศจากรอยแตกร้าวและอายุการใช้งานของชิ้นส่วนที่ยาวนานขึ้น แม้ภายใต้สภาวะการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่รุนแรง (สูงถึง 1,600°C)

นวัตกรรมที่น่าสนใจ:

-โปรโตคอลการบรรเทาความเครียด:ลดการแตกหักระดับไมโครในฉนวน AlN สำหรับการใช้งาน CVD
-การบำบัดหลังการกลึง:HIP (Hot Isostatic Pressing) ช่วยเพิ่มความหนาแน่นและความทนทานต่อการกัดกร่อน

3.การรับประกันคุณภาพอันเข้มงวด

ฉนวนทุกอันต้องผ่านการตรวจสอบ 12 ขั้นตอน, รวมทั้ง:

-CMM (เครื่องวัดพิกัด)การตรวจสอบมิติที่สำคัญ
-การทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมเพื่อความเข้ากันได้กับสูญญากาศ
-EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) สเปกโตรสโคปีรังสีเอกซ์แบบกระจายพลังงานเพื่อตรวจสอบความบริสุทธิ์ของวัสดุ

ของเราระบบที่ได้รับการรับรอง ISO 9001/14001รับประกันความสามารถในการตรวจสอบย้อนกลับตั้งแต่การจัดซื้อวัตถุดิบ (จากซัพพลายเออร์ชั้น 1 เช่น CoorsTek) จนถึงบรรจุภัณฑ์ขั้นสุดท้าย

แอปพลิเคชัน: เมื่อความแม่นยำผสานกับประสิทธิภาพ

ฉนวนของเราได้รับความไว้วางใจใน:

-เครื่องมือกัดกร่อนและการสะสม:ส่วนประกอบเคลือบ SiC สำหรับความต้านทานพลาสมาในโมดูล Applied Materials™
-เครื่องปลูกไอออน:หมุดยกอะลูมินาที่มีการเคลือบป้องกันไฟฟ้าสถิตย์เพื่อป้องกันการลื่นไถลของเวเฟอร์
-ระบบมาตรวิทยา:ฉนวนที่มีการขยายตัวทางความร้อนต่ำสำหรับขั้นตอนการพิมพ์หิน EUV

กรณีศึกษา:OEM เซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำลดเวลาหยุดทำงานของเครื่องมือลง 40% หลังจากเปลี่ยนมาใช้หัวฝักบัว SiC ที่ออกแบบเอง ซึ่งให้ประสิทธิภาพเหนือกว่าชิ้นส่วนของคู่แข่งในการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 300 มม.

เหนือกว่าการผลิต: แนวทางความร่วมมือ

-การสร้างต้นแบบอย่างรวดเร็ว:ส่งไฟล์ CAD ของคุณและรับต้นแบบการใช้งานภายใน 7 วัน
-การบรรจุหีบห่อในห้องคลีนรูมในสถานที่:ชุดประกอบห้องคลีนรูมคลาส 10 เสริมสำหรับการรวมเครื่องมือโดยตรง
-การสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน:วิศวกรของเราให้บริการการวิเคราะห์การสึกหรอและการกลึงใหม่เพื่อยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบ