ฉนวนเซรามิกแบบกัด 5 แกนสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และห้องคลีนรูม

ในโลกที่มีการแข่งขันสูงของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูม ส่วนประกอบทุกชิ้นต้องส่งมอบประสิทธิภาพที่ไร้ที่ติพีเอฟที, เรามีความเชี่ยวชาญด้านงานประดิษฐ์ฉนวนเซรามิกแบบกัด 5 แกนที่กำหนดนิยามใหม่ของความแม่นยำและความน่าเชื่อถือ ด้วยประสบการณ์กว่า 20 ปีด้วยความเชี่ยวชาญหลายปี โซลูชันของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้มั่นใจถึงเสถียรภาพทางความร้อน ฉนวนไฟฟ้า และการทำงานที่ปราศจากการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมที่มีความอ่อนไหวเป็นพิเศษ

เหตุใดจึงควรเลือกฉนวนเซรามิกแบบกัด 5 แกนของเรา?

1.ความสามารถในการผลิตขั้นสูง

โรงงานของเรามีอุปกรณ์เครื่องกัด CNC 5 แกนที่ทันสมัยที่สุดช่วยให้การขึ้นรูปเซรามิกขั้นสูง เช่น อะลูมินา (Al₂O₃) ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) และอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) มีความแม่นยำระดับไมครอน แตกต่างจากวิธีการทั่วไป การตัดเฉือนแบบ 5 แกนช่วยให้สามารถขึ้นรูปชิ้นงานที่มีรูปทรงซับซ้อนได้ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับส่วนประกอบต่างๆ เช่น หมุดยกเวเฟอร์ ชิ้นส่วนห้องเคลือบ และฉนวนที่ทนทานต่อพลาสมา

คุณสมบัติหลัก:

-ความแม่นยำ:ความคลาดเคลื่อน ±0.005 มม. เพื่อการผสานรวมที่ราบรื่นกับเครื่องมือพิมพ์หิน ASML หรือระบบกัด Lam Research
-ความเก่งกาจของวัสดุ:ปรับให้เหมาะสมสำหรับอะลูมินา 99.8%, SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง และเซรามิกขั้นสูงอื่นๆ
-พื้นผิวเสร็จสิ้น:Ra <0.2μm เพื่อลดการเกิดอนุภาคในห้องคลีนรูม ISO Class 1

2.วิศวกรรมกระบวนการที่เป็นกรรมสิทธิ์

วิศวกรของเราได้พัฒนาการควบคุมกระบวนการแบบวงปิดที่ปรับให้เข้ากับความเปราะบางของเซรามิกระหว่างการกลึง ด้วยการผสมผสานเทคนิคการกัดแบบแห้งเข้ากับระบบลดแรงสั่นสะเทือนแบบเรียลไทม์ เราจึงได้พื้นผิวที่ปราศจากรอยแตกร้าวและอายุการใช้งานของชิ้นส่วนที่ยาวนานขึ้น แม้ภายใต้สภาวะอุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงอย่างรุนแรง (สูงถึง 1,600°C)

นวัตกรรมที่โดดเด่น:

-โปรโตคอลการบรรเทาความเครียด:ลดการแตกหักของจุลภาคในฉนวน AlN สำหรับการใช้งาน CVD
-การบำบัดหลังการกลึง:HIP (Hot Isostatic Pressing) ช่วยเพิ่มความหนาแน่นและความทนทานต่อการกัดกร่อน

3.การรับประกันคุณภาพที่เข้มงวด

ฉนวนทุกตัวต้องผ่านการตรวจสอบ 12 ขั้นตอน, รวมทั้ง:

-CMM (เครื่องวัดพิกัด)การตรวจสอบความถูกต้องของมิติที่สำคัญ
-การทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียมเพื่อความเข้ากันได้ของสูญญากาศ
-EDS (การสเปกโตรสโคปีรังสีเอกซ์แบบกระจายพลังงาน)เพื่อตรวจสอบความบริสุทธิ์ของวัสดุ

ของเราระบบที่ได้รับการรับรอง ISO 9001/14001รับประกันความสามารถในการตรวจสอบย้อนกลับตั้งแต่การจัดซื้อวัตถุดิบ (จากซัพพลายเออร์ระดับ 1 เช่น CoorsTek) จนถึงบรรจุภัณฑ์ขั้นสุดท้าย

แอปพลิเคชัน: เมื่อความแม่นยำผสานกับประสิทธิภาพ

ฉนวนของเราได้รับความไว้วางใจใน:

-เครื่องมือกัดและการสะสม:ส่วนประกอบเคลือบ SiC เพื่อความต้านทานพลาสมาในโมดูล Applied Materials™
-เครื่องฝังไอออน:หมุดยกอะลูมินาที่มีการเคลือบป้องกันไฟฟ้าสถิตเพื่อป้องกันการลื่นไถลของเวเฟอร์
-ระบบมาตรวิทยา:ฉนวนที่มีการขยายตัวทางความร้อนต่ำสำหรับขั้นตอนการพิมพ์หินแบบ EUV

กรณีศึกษา:OEM เซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำลดระยะเวลาหยุดทำงานของเครื่องมือลง 40% หลังจากเปลี่ยนมาใช้หัวฝักบัว SiC ที่ออกแบบเอง ซึ่งมีประสิทธิภาพเหนือกว่าชิ้นส่วนของคู่แข่งในการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 300 มม.

เหนือกว่าการผลิต: แนวทางความร่วมมือ

-การสร้างต้นแบบอย่างรวดเร็ว:ส่งไฟล์ CAD ของคุณและรับต้นแบบฟังก์ชันภายใน 7 วัน
-การบรรจุในห้องคลีนรูมในสถานที่:ชุดประกอบห้องคลีนรูมคลาส 10 เสริมสำหรับการบูรณาการเครื่องมือโดยตรง
-การสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน:วิศวกรของเราให้บริการวิเคราะห์การสึกหรอและการกลึงใหม่เพื่อยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบ